科磊申请精密触笔控制系统专利可使探针尖端接触样本表面

　　金融界2025年7月30日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“精密触笔控制系统”的专利，公开号CN120390866A，申请日期为2024年04月。

　　专利摘要显示，系统包含处理器，其经配置以使用力信号激励一对扭矩线圈以在所述对扭矩线圈与安置于所述对扭矩线圈之间的控制臂的内部磁体之间产生磁力。所述控制臂连接到探针臂，且所述磁力引起所述控制臂及所述探针臂围绕枢轴关节旋转且引起所述探针臂的探针尖端接触样本的表面。在使用激励信号激励所述感测子系统之后，所述处理器从所述感测子系统接收与所述控制臂的旋转位置成比例的感测信号差，其对应于所述探针尖端相对于所述样本的所述表面的高度。

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